Le sable de quartz synthétique à 7n grade est entré dans la production de masse!

Pendant longtemps, la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs de mon pays dépend fortement des importations pour le sable de quartz de haute pureté de 7n, utilisé dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un goulot d'étranglement clé dans la chaîne de l'industrie. Alors que la technologie ChIP continue d'évoluer, les processus avancés ont imposé des exigences extrêmement strictes sur la pureté, l'uniformité et la stabilité du substrat de quartz.

Récemment, une usine de quartz chinoise a atteint un saut technologique significatif de la purification naturelle de minerai de quartz à la synthèse chimique de haute pureté. Ils ont établi une chaîne technologique complète englobant la technologie précurseur, les processus de synthèse chimique, le développement de l'équipement de base et la vérification des applications. Ils ont développé avec succès et produit en masse du sable de quartz synthétique (99,99999%) avec un contenu à impureté spécifique total inférieur à 20 ppb, avec des droits de propriété intellectuelle entièrement indépendants. Ce sable synthétique est utilisé dans la production de creusets en quartz de qualité semi-conducteurs, de photolithographie et de processus de gravure, entre autres processus clés.

Ce succès n'est pas un accident. L'entreprise a régulièrement une expérience accumulée dans la synthèse de quartz de haute pureté, a développé une variété de technologies avancées pour le contrôle des processus et a priorisé l'optimisation détaillée, telles que le contrôle de la pureté des matières premières, l'élimination des matériaux résiduels, le contrôle de la taille des particules, la technologie de dispersion et les processus de dopage. Ces technologies ont été transformées en brevets compétitifs.

Processus de synthèse du sable de quartz de haute pureté à partir de tétrachlorure de silicium par hydrolyse en phase liquide

Cette invention révèle un processus de synthèse du sable de quartz de haute pureté à partir du tétrachlorure de silicium par hydrolyse en phase liquide. Le processus implique une hydrolyse en phase liquide du tétrachlorure de silicium avec de l'eau. Le produit subit le lavage, la séparation solide-liquide, le séchage, la calcination, le broyage et le dépistage pour obtenir de la poudre de quartz de haute pureté. Une étape de chauffage est incluse lors de la séparation solide-liquide, entre le lavage et la séparation solide-liquide, ou pendant le lavage pour favoriser la décomposition de l'acide orthosilic en acide métasilique, faciliter le transfert et le nettoyage et réduire les déchets de matières premières. La température de séchage est de 100-200 degrés et la température de calcination est de 1300 à 1500 degrés. La conception de la fournaise de calcination est optimisée pour assurer un chauffage uniforme et empêcher l'agglomération en poudre.

Processus de préparation

Cette invention révèle un processus de préparation du sable de quartz synthétisé de la silice amorphe ultra-pureté. Le processus implique la réaction à haute température et à haute pression de la silice amorphe, un minéraliser et de l'eau ultrapure, suivie d'une séparation solide-liquide pendant la décharge. Le produit est ensuite broyé, lavé, nettoyé et séché pour obtenir le produit. Ce processus utilise la pression des réacteurs pour réaliser une séparation solide-liquide pendant le déchargement et les coûts d'économie. Il utilise également de la silice amorphe, offrant une pureté élevée et contrôlable, atténuant la pénurie de minerai de quartz de haute qualité dans mon pays. Le sable de quartz résultant a une faible teneur en aluminium et une faible quantité totale de neuf impuretés.

Un processus de préparation de quartz synthétique de qualité semi-conducteur

Ce processus de préparation de quartz synthétique de qualité semi-conducteur comprend quatre étapes: préparation des matériaux, élimination des impuretés, échange d'ions et purification vieillissante. La préparation du matériau consiste à ajouter du silicate de métal alcalin à l'équipement et à la dissoudre et à la diluer avec de l'eau pure à température moyenne. L'élimination des impuretés consiste à ajouter un dissolvant d'impuretés, à remuer, à permettre au mélange de se régler et à filtrer pour séparer les hydroxydes de métaux lourds et la solution à échanger. L'échange d'ions implique le passage de la solution à échanger via une colonne d'échange de cations à acide fort pour éliminer les ions calcium et sodium, résultant en un sol. La purification vieillissante implique de permettre au SOL de se tenir debout pour produire un gel initial, qui est ensuite soumis au vieillissement, au lavage, au séchage, au pulvérisation, au frittage et à la purification ultra-pury pour obtenir le produit. Ce processus utilise un équipement intégré pour améliorer l'automatisation et l'efficacité.